可調微動工作臺機構_北京集科儀器有限公司

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        可調微動工作臺機構

        發布日期:2013-01-05    文字大?。?a onclick="doZoom(18)" href="javascript:void(0)">大      
          

        該機構三大部分:下基座微調臺、上基座微調臺和CCD調整機構。

        其中下基座微調臺機構包括:±2mm x軸微動臺,±2mm y軸微動臺,±5°繞z軸轉動臺;

                 上基座包括:0~50mm、帶數顯光柵尺(長度分辨率為1μm)的 z軸微動臺;

                  CCD調整機構包括兩套獨立的三軸調節機構,實現±10mm的z軸位移、±10μm的x 軸位 移,±10μm的y軸位移。

         

        設備技術參數:

        序 號

        名  稱

        產品規格

        1

        X軸微動臺

        ±2mm

        2

        Y軸微動工作臺

        ±2mm

        3

        z軸微動工作臺  

        整體量程:0-50mm,在0~3mm范圍內能夠實現局部微調,分辨率為1μm

        4

        thet軸微動工作臺

        ±5°

        5

        上基座支撐板

        246×132×100(10mm厚)

        6

        下基座支撐板 

        304×308×15

        7

        CCD支撐板

        z軸向微調:±10mm

        8

        x軸向微調:±10mm

        9

        y軸向微調:±10mm

        10

        支撐立柱

        Φ20×280mm

        11

        支撐底板

        480×700×10

        12

        數顯光柵尺

        JCXE1-100( 精度:1μm行程:100mm)

         

         

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